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投影光刻機(jī)中空氣彈簧隔振器的穩(wěn)定性

來源：上海松夏減震器有限公司????發(fā)布時(shí)間：2023-05-17 09:39

空氣彈簧內(nèi)部因性能以及優(yōu)勢的不同，可分為各種各樣的彈簧。側(cè)重不同的空氣彈簧應(yīng)用的領(lǐng)域不同，在購買和使用時(shí)應(yīng)當(dāng)注意區(qū)分。就工業(yè)領(lǐng)域而言，低頻空氣彈簧的使用頻率高，并且較普通彈簧而言，有更大優(yōu)勢。憑借著低頻技術(shù)，這類彈簧更為穩(wěn)定。

空氣彈簧隔振器并沒有讓人失望，盡管頻率較低，但穩(wěn)定性值得信任。這類空氣彈簧在工作時(shí)頻率不超過三赫茲，在頻率如此低的情況下，空氣彈簧能夠完成好工作任務(wù)。同時(shí)，即便應(yīng)用于性能高的機(jī)器，也能有效隔振。投影光刻機(jī)中空氣彈簧隔振器無論是在水平方向還是垂直方向，都能幾乎保持同頻共振，這樣的特性使低頻空氣彈簧穩(wěn)定性較高。由于頻率較低，投影光刻機(jī)中空氣彈簧的使用壽命更長，檢修和維修的空間更大，不必頻繁更換。

除能憑借低的頻率完成任務(wù)之外，空氣彈簧隔振器還可自動(dòng)調(diào)節(jié)水平方向。普通彈簧在震動(dòng)的情況下，易改變水平方向，致使零件無法完成對接，工作效率低。低頻空氣彈簧則不同，更穩(wěn)定的工作狀態(tài)讓這一彈簧幾乎不改變水平方向，因此能夠更快接觸到對接的零件。這也是為什么這類彈簧頻繁應(yīng)用于大型的測量儀器的原因。正是憑借著自動(dòng)調(diào)節(jié)方向的功能，該空氣彈簧在保證性能的前提下，還能保證進(jìn)行量測的精度。

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